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저자정보
Young‑Hwan Choi (Korea Institute of Science and Technology) Joo‑Youl Huh (Korea University) Young‑Joon Baik (Korea Institute of Science and Technology)
저널정보
대한금속·재료학회 Metals and Materials International Metals and Materials International Vol.29 No.2
발행연도
2023.2
수록면
575 - 578 (4page)
DOI
10.1007/s12540-022-01235-3

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The effective residual stress reduction in a cubic boron nitride (cBN) thin film by the addition of oxygen gas is reported.Typically, a turbostratic BN layer (tBN) deposits on the substrate surface prior to a cBN layer. This interfacial tBN layer hasbeen observed that the addition of oxygen increases the thickness of the tBN layer, which is also a factor in reducing theresidual stress. In this study, the cBN and tBN layers are analysed to assess their individual effect on residual stress reductionwhen oxygen is added. The variation in residual stress in relation to the tBN layer thickness is estimated using data reportedpreviously by Ye et al. The estimated data shows that the reduction in the residual stress of the cBN layer is significantlygreater than that caused by an increase in the tBN layer thickness. This result shows that the residual stress of the cBN layercan be significantly reduced by the addition of oxygen.

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