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Maskless Lithography Using High-speed MEMS Mirror Scanner
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
Maskless lithography를 위한 MEMS 미러 레이저 스캐닝 시스템 설계
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
마이크로패턴 정밀도 향상을 위한 Maskless Lithography 공정에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
대면적 나노구조 패턴 제작을 위한 레이저 간섭 리소그래피 기술을 활용한 가간섭성 회절 기술에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
레이저 리소그래피에서 이중선 제작 방법 및 그 응용
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
IoT 센서 전극 제작을 위한 레이저 직접 리소그래피 기술
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .05
Design, Fabrication and Performance Analysis of Negative Square Fresnel Zone Plate Using Direct Laser Lithography
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
Poisson Effect-assisted Replication Lithography for 3D Microstructure Fabrication
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
레이저 직접 노광시스템의 3D lithography를 위한 자동초점시스템 제어
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
레이저 직접 리소그래피와 포토리소그래피를 활용한 고해상도 디스플레이 전극용 패턴 제작
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .12
DMD 기반 스캐닝 디지털 리소그래피 기술
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
TSP검사용 micro bump 제작을 위한 maskless lithography system 공정 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
A Simple Measurement of the Refractive Index by Using a Nano Pattern Fabricated by Laser Interference Lithography
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
상변화 마스크를 이용한 나노 리소그래피에 관한 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2018 .05
시각적 관용성을 가지는 타일링 기법의 롤 타입 리소그래피 장비 적용에 대한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2016 .10
엑스선 그레이 스케일 리소그래피를 활용한 반원형 단면의 서브 마이크로 선 패턴의 바이오멤스 플랫폼 응용
센서학회지
2021 .01
롤장비 기반의 플라즈모닉 리소그래피 연속공정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
고종횡비 제작을 위한 드로잉 리소그래피 시뮬레이션
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2023 .04
스캐닝 간섭 리소그래피 공정 중 발생하는 오차 보정을 위한 tip tilt mirror 제어 수식에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
딥러닝 기반 리소그래피 패턴 윤곽선 자동 추출 기법
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
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