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저자정보
김강현 (포항공과대학교) 임근배 (포항공과대학교) 김종현 (포항공과대학교 포항가속기연구소) 남효영 (포항공과대학교) 김수현 (포항공과대학교)
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제30권 제3호
발행연도
2021.1
수록면
170 - 174 (5page)

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As the rising attention to the medical and healthcare issue, Bio-MEMS (Micro electro mechanical systems) platform such as bio sensor, cell culture system, and microfluidics device has been studied extensively. Bio-MEMS platform mostly has high resolution structure made by biocompatible material such as polydimethylsiloxane (PDMS). In addition, three dimension structure has been applied to the bio-MEMS. Lithography can be used to fabricate complex structure by multiple process, however, non-rectangular cross section can be implemented by introducing optical apparatus to lithography technic. X-ray lithography can be used even for sub-micron scale. Here in, we demonstrated lines with round shape cross section using the tilted gold absorber which was deposited on the oblique structure as the X-ray mask. This structure was used as a mold for PDMS. Molded PDMS was applied to the cell culture platform. Moreover, molded PDMS was bonded to flat PDMS to utilize to the sub-micro channel. This work has potential to the large area bio-MEMS.
#Bio-MEMS #X-ray grayscale lithography #Tilted gold absorber #PDMS #Microfluidics #Cell patterning

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참고문헌 (12)

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B. Ziaie / 2004 / Hard and soft micromachining for BioMEMS : review of techniques and examples of applications in microfluidics and drug delivery / Adv. Drug Del. Rev. 56(2):145~172 google schola B. J. Kim / 2016 / Review of polymer MEMS micromachining / J. Micromech. Microeng. 26(1):013001 google schola T. Leïchlé / 2020 / MEMS Biosensors and COVID-19 : Missed Opportunity / ACS Sens. 5(11):3297~3305 google schola F. Marvi / 2021 / A Measurement Platform for Label-Free Detection of Biomolecules Based on a Novel Optical BioMEMS Sensor / IEEE Trans. Instrum. Meas. 70:1~7 google schola F. Gao / 2020 / Microelectrode arrays for monitoring neural activity in neural stem cells with modulation by glutamate in vitro / Nanotechnol. Precis. Eng. 3(2):69~74 google schola

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