Design, Fabrication and Performance Analysis of Negative Square Fresnel Zone Plate Using Direct Laser Lithography

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저자정보: M. F. Atar (과학기술연합대학원대학교) Y. S. Ghim (한국표준과학연구원) H. G. Rhee (한국표준과학연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2024년도 추계학술대회 논문집

이용수

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#Lithography #Fabrication #Fresnel zone plate

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