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학술저널
저자정보
김서한 (부산대학교) 조상현 (부산대학교) 이건환 (한국기계연구원부설 재료연구소) 박인욱 (한국생산기술연구원) 송풍근 (부산대학교)
저널정보
한양대학교 세라믹공정연구센터 Journal of Ceramic Processing Research Journal of Ceramic Processing Research 제17권 제3호
발행연도
2016.3
수록면
265 - 270 (6page)

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We prepared 1-μm-thick CdTe films by thermal evaporation or radio frequency magnetron sputtering. The film depositionwas conducted at various substrate temperatures (Ts), and sputtered films were post-annealed in air or vacuum. The CdTefilms deposited by evaporation had larger grain sizes than the films deposited by sputtering, likely because the bombardmentof high-energy particles during sputtering disturbed the crystallization of the film. The sputtered film was amorphous whengrown at room temperature (RT), but crystalline when the Ts was increased during deposition. In case of the evaporated films,the preferred orientation was C-(111) when the Ts was at RT. However, when the Ts was increased, the intensity of the X-raydiffraction peak of C-(111) decreased and that of the C-(220) and C-(311) peaks increased. Finally, sputtered films grown atRT were treated with a post-annealing step at various temperatures. After this treatment, there was no significant differencein the grain size and XRD patterns of the films, likely because the maximum annealing temperature, 400 oC, was insufficientto change the microstructure of the film.
#CdTe #Sputtering #Thermal evaporation #Heat treatment

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G. Khrypunov / 2006 / Solar Energy Materials & Solar Cells 90:664~677 google schola Akina Yoshimatsu / 2012 / IEEE Nuclear Science Symposium and Medical Imaging Conference Record (NSS/MIC) :4135~4137 google schola F. Debbagh / 1996 / Materials Science and Engineering B 38:223~227 google schola E. Saucedo / 2005 / Thin Solid Films 471:304~309 google schola Satoshi Tokuda / 2003 / Medical Imaging 2003: Physics of Medical Imaging :861~870 google schola

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