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자료유형
학술저널
저자정보
장희수 (전남대학교) 이동원 (전남대학교) 심재삼 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국기계기술학회 한국기계기술학회지 한국기계기술학회지 제23권 제6호
발행연도
2021.12
수록면
1,119 - 1,123 (5page)
DOI
10.17958/ksmt.23.6.202112.1119

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2021

탄성 중합체 변형을 통한 패턴 변화 특성 연구
장희수 ,  이동원 ,  심재삼 한국기계기술학회지 2021.12 학술저널
탄성중합체 변형률 조절을 통한 패턴 간격 제어 연구
장희수 ,  이동원 ,  심재삼 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021.11 학술대회자료

초록· 키워드

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In this study, controlling pattern gap was induced by deformation of the stretchable substrate. The pre-fabricated pattern was made by depositing an Au(gold) on the Si substrate, and PDMS(Polydimethylsiloxane) was used for the stretchable substrate in consideration of surface energy, formability, and viscoelastic characteristics. For uniform deformation of PDMS, it is manufactured in the form of a tensile specimen using a molding method. An external force is applied to the deformable substrate in the uni-axial direction using a self-manufactured JIG, and the Au thin film pattern is transferred to the substrate under tensile state. After that, the external force is removed, and the PDMS specimen is recovered to its initial state. At this time, it can be seen that the pre-fabricated pattern gap is shortened from the initial size due to the viscoelastic properties of the PDMS. As a result, it was characterized to deformation rate of the pattern gap according to elongation rate of PDMS.
#폴리다이메틸실록산 #기계적 특성 #패턴 간격 #인장 #전사 #Polydimethylsiloxane #Mechanical properties #Pattern gap #Tensile #Transfer

목차

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Adrega, T. / 2010 / Stretchable gold conductors embedded in PDMS and patterned by photolithography: Fabrication and electromechanical characterization / Journal of Micromechanics and Microengineering 20(5) google schola Hyun-ju Choi / 2007 / A study on estimating elastic modulus of nano-scale metal thin films on a polymeric substrate / The Korean Society of Mechanical Engineers google schola Hyun-Ju Choi / 2008 / A study on mechanical characterization of nano-thick films fabricated by transfer assembly technique / The Korean Society of Mechanical Engineers google schola Samuel Yu / 2011 / Contact Guidance of Cells using the Micro/Nanopatterns Created by Stretching Plasma Treated PDMS Membrane / The Korean Society of Mechanical Engineers google schola Jae Won Jeong / 2014 / High-resolution nanotransfer printing applicable todiverse surfaces via interface- targeted adhesionswitching / nature commuinications google schola

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