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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
장희수 (전남대학교) 이동원 (전남대학교) 심재삼 (한국생산기술연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
385 - 385 (1page)

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본 연구에서는 외력에 의해 물리적으로 변형된 탄성중합체(Elastomer)를 활용하여 기 제작된 패턴 간격의 변화를 제어하는 기술을 개발하였다. 기 제작된 패턴은 Si 기판 위에 금 박막을 증착하여 패터닝하였으며, 이때 사용되는 기판과 대상 소재는 탄성중합체로 전사 시 기판과의 접착성을 고려하여 다양하게 적용 가능하다. 이후 Si 기판 위 패턴을 탄성 중합체로 전사하게 되며 본 연구에서는 점 탄성, 표면 에너지, 신축성을 고려하여 탄성중합체 중 PDMS (Polydimethylsiloxane. Sylgard-184 Dow Corning)를 사용하였다. PDMS 시편은 자체 제작된 알루미늄 몰드(Mold)를 통해 규격화된 크기로 제작되며, 이후 정량화된 외력을 가할 수 있는 ... 전체 초록 보기

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