Design and Simulation of Microelectromechanical Systems (MEMS) for Ozone Gas Sensors

Souhir Bedoui; Sami Gomri; Hekmet Charfeddine Samet; Abdennaceur Kachouri

doi:https://doi.org/10.1007/s42341-018-0001-4

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저자정보: Souhir Bedoui (University of Sfax) Sami Gomri (University of Sfax) Hekmet Charfeddine Samet (University of Sfax) Abdennaceur Kachouri (University of Sfax)

저널정보: 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제19권 제1호

발행연도: 2018.2

수록면: 41 - 46 (6page)

DOI: https://doi.org/10.1007/s42341-018-0001-4

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The design of a micro hotplate is very important since it is a key component of micro-sensors, particularly gas sensors. AWO 3 gas sensor requires a maximum temperature of 300 °C for ozone detection. This paper discussed the design and simulationof a novel platinum micro heater model, the meander-spiral combination form, at a temperature of 300 °C with lowpower consumption and high temperature uniformity, and compared its simulation results with two other heater geometries?meander and spiral. The novel geometry off ers a compromise between homogeneity, consumption, and thermal response.

#Gas sensors #Heater #MEMS #Electro-thermal analysis

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A. Gross / 2012 / Sensors

E. Comini / 2002 / Appl. Phys. Lett.

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