MEMS/Nano-technologies for Smart Air Environmental Monitoring Sensors

박인규; 강경남; 양대종

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박인규 강경남 양대종

저널정보: 한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제24권 제5호

발행연도: 2015.1

수록면: 281 - 286 (6page)

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The importance of air quality monitoring is rapidly increasing. Even though state-of-the-art air quality monitoring technologies such as mass spectrometry, gas chromatography, and optical measurement enable high-fidelity measurement of air pollutants, they cannot be widely used for portable or personalized platforms because of their high cost and complexity. Recently, personalized and localized environmental monitoring, rather than global and averaged environmental monitoring, has drawn greater attention with the advancement of mobile telecommunication technologies. Here, micro- and nano-technologies enable highly integrated and ultra-compact sensors to meet the needs of personalized environmental monitoring. In this paper, several examples of MEMS-based gas sensors for compact and personalized air quality monitoring are explained. Additionally, the principles and usage of functional nanomaterials are discussed for highly sensitive and selective gas sensors.

#gas sensor #MEMS sensor #nanomaterials #air quality sensor

참고문헌 (14)

참고문헌 신청

B. Guo / 2007 / A monolithic integrated 4x4 tin oxide gas sensor array with on-chip multiplexing and differential readout circuits / Solid State Electron 51 : 69 ~ 76

C. Jin / 2014 / Synthesis, structure, and gas-sensing properties of Pt-functionalized TiO2 nanowire Sensors / J. Nanosci. Nanotechno 14 : 5833 ~ 5838

D. Lange / 2002 / Complementary metal oxide semiconductor cantilever arrays on a single chip : mass-sensitive detection of volatile organic compounds / Anal. Chem 74 : 3084 ~

E. Oh / 2009 / Highperformance NO2 gas sensor based on ZnO nanorod grown by ultrasonic irradiation / Sensor. Actuat. B-Chem 141 : 239 ~ 243

G. D. Khuspe / 2012 / Fussy nanofibrous network of polyaniline(PANi)for NH3detection / Synthetic Met 162 : 1822 ~ 1827

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