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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.8
- 수록면
- 479 - 483 (5page)
- DOI
- https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.8.479
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ELA에 의해 형성된 Poly-Si의 최적화 된 박막 트랜지스터에 대해 NH3 플라즈마 처리가 소자 특성에 미치는 영향을 확인하였다. MIS (Metal-Insulator-Silicon)에서 C-V 곡선을 확인한 결과, NH3 플라즈마 처리 된 MIS의 Dit는 2.7x10^10 cm-2eV-1이었다. 또한 TFT 소자의 경우 0.5V / decade의 subthreshold voltage, 1.9V threshold voltage 감소하였으며 26 cm^2V-1S-1의 이동도가 향상되었다. Si-N 및 Si-H 결합은 각 계면에 dangling bonding을 감소시켰다. Gate bias stress를 일정한 시간을 두고 가했을 때, NH3 플라즈마 처리 된 디바이스의 threshold voltage shift 값은 1000 초 동안 0.58 V, 3600 초 동안 1.14 V, 7200 초 동안 1.12 V였다. 각 parameters에서 알 수 있듯이, 전기적 안정성이 향상된 것으로 보아 NH3 플라즈마 처리는 passivation에 효과적이라고 여겨진다.
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참고문헌 (11)
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S. T. Wu / 2001 / Reflective Liquid Crystal Displasys / John Wiley & Sons, Ltd. :352
Fang-Shing Wang / 1995 / The effects of NH 3 plasma passivation on polysilicon thin-film transistors / IEEE Electron Device Letters 16(11):503~505
H.-C. You / 2006 / The Impact of Deep Ni Salicidation and$hboxNH_3$Plasma Treatment on Nano-SOI FinFETs / IEEE Electron Device Letters 27(10):799~801
J. H. Jung / 2005 / 49.1: A 14.1 inch Full Color AMOLED Display with Top Emission Structure and a-Si TFT Backplane / SID Symposium Digest of Technical Papers 36(1):1538
Takatoshi Tsujimura / 2003 / 4.1: A 20-inch OLED Display Driven by Super-Amorphous-Silicon Technology / SID Symposium Digest of Technical Papers 34(1):6
Fang-Shing Wang / 1995 / The effects of NH 3 plasma passivation on polysilicon thin-film transistors / IEEE Electron Device Letters 16(11):503~505
H.-C. You / 2006 / The Impact of Deep Ni Salicidation and$hboxNH_3$Plasma Treatment on Nano-SOI FinFETs / IEEE Electron Device Letters 27(10):799~801
J. H. Jung / 2005 / 49.1: A 14.1 inch Full Color AMOLED Display with Top Emission Structure and a-Si TFT Backplane / SID Symposium Digest of Technical Papers 36(1):1538
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