이산화 티타늄 위에서의 원자층 증착법 백금의 성장 특성

김현구; 이한보람

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 김현구 (인천대학교) 이한보람 (인천대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제48권 제2호

발행연도: 2015.4

수록면: 38 - 42 (5page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

Atomic layer deposition (ALD) is essential for the fabrication of nanoscale electronic devices because it has excellent conformality, atomic scale thickness control, and large area uniformity. Metal thin films are one of the important material components for electronic devices as a conductor. As the size of electronic devices shrinks, the thickness of metal thin films is decreased down to few nanometers, and the metal films become non-continuous due to inherent island growth of metal below a critical thickness. So, fabrication of continuous metal thin films by ALD is fundamentally and practically important. Since ALD films are grown through self-saturated reactions between precursors on surface, initial growth characteristics significantly depend on the surface properties and the selection of precursors. In this work, we investigated ALD Pt on TiO₂ substrate by using trimethyl-methyl-cyclopentadienyl-Platinum (MeCpPtMe₃) precursor and O₃ reactant. By using O₃ instead of O2, initial nucleation rate of ALD Pt was increased on TiO₂ surface, resulting in formation of continuous thin Pt films. Morphologies of ALD Pt on TiO2 were characterized by using Scanning Electron Microscope (SEM) and Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS). Crystallinity of ALD Pt on TiO₂ correlated with its growth characteristics was analyzed by X-Ray Diffraction (XRD).

#TiO₂ #Pt #Atomic Layer Deposition #O₃ #Nucleation

참고문헌 (8)

참고문헌 신청

1. [학술지(정기간행물)] - H. Kim / 2009 / / Thin Solid Films 517 : 2563 ~

2. [학술지(정기간행물)] - M. A. Mamun / 2015 / / Surface and Coatings Technology 265 : 185 ~

3. [학술지(정기간행물)] - S M. George / 2010 / / Chem. Rev 110 : 111 ~

4. [학술지(정기간행물)] - H-B-R Lee / 2012 / / Chem. Mater 24 : 279 ~

5. [학술지(정기간행물)] - J. E, Lim / 2004 / / J. Mater. Res 19 : 460 ~

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

김현구

소속기관 쎄트렉아이

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학 TOP 0.1% 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 533 이용수 32,770

이한보람

소속기관 인천대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 13 이용수 376

이 논문과 함께 이용한 논문

경사입사각증착법을 이용한 이산화 티타늄 박막 기반의 고반사 분포 브래그 반사기 제작 및 특성

Xiang-Yu Guan , 임정우 , 정관수 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2014 .02

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-581-001430701

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (8)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)