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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.11
- 수록면
- 2,660 - 2,665 (6page)
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When measuring the optical surface shape and thickness of a transparent plate, wavelength-turning interferometry has been widely used. However, when the wavelength-turning interferometer is utilized, the various types of the phase-shift errors occur. These errors include the errors due to the harmonic components, phase-shift linear and nonlinear errors. In this research, we proposed two 15-sample phase-extraction algorithms that can suppress these phase-shift errors. The first is the algorithm for optical surface shape that can suppress coupling errors between harmonic signals and phaseshift linear and nonlinear errors. The second is the algorithm for optical thickness that can compensate the spatially uniform error including the coupling errors. The characteristics of two 15-sample phase-extraction algorithms were discussed by Fourier representation in the frequency domain and characteristic polynomial in the complex plane. The error-suppression performance can be confirmed from the root-mean-square error for the first algorithm and calculated phase errors with the second algorithm.
목차
Abstract
1. 서론
2. 15-샘플 위상 추출 알고리즘
3. 15-샘플 위상 추출 알고리즘의 성능
4. 결론
참고문헌
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