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Jie Chen (Fudan University) Quanping Fan (China Academy of Engineering Physics) Junhua Wang (Fudan University) Dengpeng Yuan (China Academy of Engineering Physics) Lai Wei (China Academy of Engineering Physics) Qiangqiang Zhang (China Academy of Engineering Physics) Junsheng Liao (China Academy of Engineering Physics) Min Xu (Fudan University)
저널정보
한국광학회 Current Optics and Photonics Current Optics and Photonics Vol.4 No.1
발행연도
2020.2
수록면
9 - 15 (7page)

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Fresnel zone plates have been widely used in many applications, such as x-ray telescopes, microfluore-scence, and microimaging. To obtain an x-ray Fresnel zone plate, many fabrication methods, such as electron-beam etching, ion-beam etching and chemical etching, have been developed. Fresnel zone plates fabricated by these methods will inevitably lead to some nonideal factors, which have an impact on the focusing characteristics of the zone plate. In this paper, the influences of these nonideal factors on the focusing characteristics of the zone plate are studied systematically, by numerical simulations based on scalar diffraction theory. The influence of the thickness of a Fresnel zone plate on the absolute focusing efficiency is calculated for a given incident x-ray’s wavelength. The diffraction efficiency and size of the focal spot are calculated for different incline angles of the groove. The simulations of zone plates without struts, with regular struts, and with random struts are carried out, to study the effects of struts on the focusing characteristics of a zone plate. When a Fresnel zone plate is used to focus an ultrashort x-ray pulse, the effect of zone-plate structure on the final pulse duration is also discussed.
#Fresnel zone plate #Kirchhoff diffraction theory #Nonideal factors #Focusing characteristics #Numerical simulation

목차

Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. METHODS
Ⅲ. RESULTS
Ⅳ. CONCLUSION
REFERENCES

참고문헌 (17)

참고문헌 신청
D. Attwood / 1999 / Soft X-ray and Extreme Ultraviolet Radiation / Cambridge University Press google schola C. G. Schroer / 2006 / Focusing hard x-rays to nanometer dimensions using Fresnel zone plates / Phys. Rev. B 74:033405 google schola J. Reinspach / 2011 / 13 nm high-efficiency nickel-germanium soft x-ray zone plates / J. Vac. Sci. Technol. B 29:011012 google schola K. Jefimovs / 2007 / Fabrication of Fresnel zone plates for hard X-rays / Microelectron. Eng 84:1467~1470 google schola V. V. Lider / 2017 / Zone plates for X-ray focusing / J. Surf. Invest. : X-ray, Synchrotron Neutron Tech 11:1113~1127 google schola

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