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이승민 (프로옵틱스) 송현수 (프로옵틱스) 우희 (프로옵틱스) 김대용 (프로옵틱스) 정진호 (프로옵틱스)
저널정보
한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제32권 제6호
발행연도
2021.12
수록면
296 - 305 (10page)

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본 논문은 OLED 제작 공정에 사용하는 레이저 박리(laser lift-off, LLO) 장비의 실린더 렌즈를 사용하는 선형 빔 광학계의 장축 성능에 대한 연구로서, 실린더 렌즈의 편심을 7가지로 분류하고 정의하였으며, 측정 방법을 제시하였다. 또한 실린더 잠자리 눈 렌즈의 면정밀도와 편심, 사용방식 등이 선형 빔 광학계의 장축 성능에 미치는 영향에 대한 분석 및 실험 결과를 제시하고, 장축 성능을 향상시키기 위한 향후 진행 방향을 제시하였다.
#Fly-eye lens #Laser lift-off #Line beam #Long axis uniformity #Steepness #잠자리 눈 렌즈 #레이저 박리 #선형 빔 #장축 균일도 #경사도

목차

I. 서론
II. FEL 광학계의 구조와 원리
III. 실린더 렌즈의 편심 및 FEL의 제작 오차에 대한 고찰
IV. FEL 제작 정밀도와 장축 성능의 관계
V. 결론
References

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
F. M. Dickey / 2014 / Laser Beam Shaping / CRC Press google schola F. M. Dickey / 2006 / Laser Beam Shaping Applications / CRC Press google schola 김보영 / 2013 / 엑시머 레이저를 사용한 LLO 시스템 설계 및 분석 / 한국광학회지 24(5):224~230 dbpia 류재명 / 2002 / Fly-eye lens 를 사용한 액정 projector용 조명 광학계의 설계 / 한국광학회지 13(2):173~181 google schola P. R. Yoder, Jr / 2008 / Mounting Optics in Optical Instruments / SPIE Press google schola

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