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이승민 (프로옵틱스) 이광진 (프로옵틱스) 김대용 (프로옵틱스) 이상현 (프로옵틱스) 정진호 (프로옵틱스)
저널정보
한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제32권 제6호
발행연도
2021.12
수록면
276 - 285 (10page)

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본 논문은 디스플레이용 OLED의 제작 공정에 사용하는 레이저 박리(laser lift-off, LLO) 장비의 선형빔 광학계에 대한 연구로서, M²가 큰 레이저를 사용하는 경우, 단축의 선폭을 작게 만들면서 공정심도를 깊게 유지하기 위한 빔 변환 모듈(beam transformation unit, BTU)을 포함한 광학계에 대한 연구를 진행하였고, 단축 형상을 슈퍼 가우시안으로 만들 수 있는 방법과 flat-top 분포로 만들 수 있는 광섬유를 사용하는 빔 변환 방식에 대하여 제시하였다.
#Beam transformation unit #Depth of focus #Laser lift-off #Line beam #Super Gaussian #빔 변환기 #공정 심도 #레이저 박리 #선형 빔 #슈퍼 가우시안

목차

I. 서론
II. 레이저의 M²와 선형빔용 빔 변환 광학계
III. 선형 빔용 광학계와 BTU의 새로운 접근
IV. 슈퍼 가우시안 단축형상 구현을 위한 연구
V. 결론
References

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
F. M. Dickey / 2014 / Laser Beam Shaping / CRC Press google schola F. M. Dickey / 2006 / Laser Beam Shaping Applications / CRC Press google schola 김보영 / 2013 / 엑시머 레이저를 사용한 LLO 시스템 설계 및 분석 / 한국광학회지 24(5):224~230 dbpia Y. H. Han / 2019 / Laser beam quality and process efficiency / Laser Solutions 22:4~9 google schola I. Mikliaev / 2010 / A. Mikhailov, and M. Darsht, “Device for beam shaping / Korean Patent 10-095137 google schola

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