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분광광도계로 측정된 반사율 데이터를 활용하여 다층박막 각 층의 두께를 푸리에 변환 방법으로 결정하였다. 이를 위하여 이론적인 3층 다층박막 반사율 데이터를 생성하고 자체 작성한 Matlab 프로그램으로 델타함수의 피크 발생위치로부터 각 층의 두께를 결정하였으며, 박막의 광학적 두께가 730 nm 이상이 되는 경우 결정된 두께 오차는 1.0% 이하임을 알 수 있었다. 이 방법을사용하여 바 코팅 방법으로 제작된 PI-(얇은 SiO<sub>2</sub>)-PI 다층박막의 두께를 결정하고 그 결과를 SEM 측정결과와 비교하였다. 본두께측정 방법은 각 층의 굴절률과 박막의 순서를 미리 인지하고 있어야 하는 단점이 있으나, 비파괴적인 방법으로 빠르게 다층박막의 두께 분포를 결정할 수 있는 방법임을 확인하였다.
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J. C. Manifacier / 1976 / A simple method for the determination of the optical constant n, k and the thickness of weakly absorbing thin films / J. Phys 9:1002
J. Rivory / 1995 / Thin Films for Optical Systems / Marcel Dekker Inc
P. Hlubina / 2006 / Dispersive white-light spectral interferometry with absolute phase retrieval to measure thin fim / Opt. Express 14:7678
P. G. Synder / 1992 / Graded refractive index silicon oxynitride thin film characterized by spectroscopic ellipsometry / J. Vac. Sci. Technol. A 10:1462
J. A. Doborowolski / 1983 / Determination of optical constants of thin film coating material based on inverse synthesis / Appl. Opt 22:3192
J. Rivory / 1995 / Thin Films for Optical Systems / Marcel Dekker Inc
P. Hlubina / 2006 / Dispersive white-light spectral interferometry with absolute phase retrieval to measure thin fim / Opt. Express 14:7678
P. G. Synder / 1992 / Graded refractive index silicon oxynitride thin film characterized by spectroscopic ellipsometry / J. Vac. Sci. Technol. A 10:1462
J. A. Doborowolski / 1983 / Determination of optical constants of thin film coating material based on inverse synthesis / Appl. Opt 22:3192
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