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자료유형
학술대회자료
저자정보
황인오 (한양대학교) 조남규 (한양대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
218 - 218 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2021

Combined Three-probe 오차분리기술 기반 라인 프로파일 측정 오차 분석
황인오 ,  백상우 ,  조남규 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021.11 학술대회자료
고주파 라인 프로파일 측정을 위한 개선된 Combined Three-probe 오차분리법
황인오 ,  조남규 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021.05 학술대회자료

초록· 키워드

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정밀 기계 부품의 라인 프로파일 측정은 진직도, 표면 거칠기 등의 주요 표면 파라미터 평가를 위해 반드시 필요하다. 전형적인 정밀 라인 프로파일 측정 장치는 정밀 이송장치에 장착된 변위 측정 센서로 구성된 스캐닝 프로브 시스템으로 정밀 이송장치에서 발생하는 진직 오차운동에 의한 영향이 라인프로파일 측정시스템의 오차 및 불확도로 작용한다는 문제점이 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 멀티프로브 오차분리방법이 제안되어 왔으며, 그 중Three-probe Error Separation Method 은 3 개의 변위센서로 구성된 프로브 세트를 이송장치에 장착하여 측정하며, 이송장치의 Yawing Error, Straightness Error에 해당하는 2 자유도 오차운동의 영향을 제거할 수 있는 방법이기 때문에 주로 연구되어왔다. 하지만, 대표적인 Three-probe Error Separation Method 인 Sequential Thr ... 전체 초록 보기
#Line profile measurement #Straightness error motion #Multi-probe method #Error separation method #Reconstruction

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