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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.2
- 수록면
- 402 - 405 (4page)
- DOI
- 10.5370/KIEE.2022.71.2.402
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This study provides the conditions and characteristics of a radial striation in a capacitively coupled plasmas, which is caused by self-organized pattern formation. With the variation of the gas pressure and the RF applied voltage, we found that the striation occurs in the parameter space near the breakdown boundary of the glow discharge. By observing the time-averaged plasma parameters, it was found that the striation is triggered by the local non-uniformity of electron heating. The radial electron flux distribution shows a strong shear with the evolving striations.
목차
Abstract
1. 서론
2. 연구 방법
3. 시뮬레이션 결과
4. 결론
References
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