지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.2
- 수록면
- 387 - 394 (8page)
- DOI
- 10.5370/KIEE.2022.71.2.387
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Low temperature N₂/NH₃/SiH₄ plasma is used to deposit hydrogenated silicon nitride(SiN<SUB>x</SUB>:H). In this process, the main factor influencing the quality of the deposited film is the active species, such as SiH<SUB>x</SUB> and NH<SUB>x</SUB> radicals. In the conventional methods, it was insufficient to explain the correlation between generation of active species and the process parameters. So, a fluid model of 2D axis-symmetry based on dual antenna inductively coupled plasma (ICP) source using N₂/NH₃/SiH₄ gas mixture has been developed for SiN<SUB>x</SUB>:H film deposition. The gas mixture model was comprised of 57 species, 195 chemical reactions and 16 surface reactions. The ratio of input power between independent antenna system affects the electron and SiH<SUB>x</SUB>, NH<SUB>x</SUB> radical generation. And it was observed that the spatial uniformity of electron and radical density increases when the independent input power of dual antenna system is set to 500:500W.
목차
Abstract
1. 서론
2. 시뮬레이션 구성 및 방법
3. 시뮬레이션 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
N₂/NH₃SiH₄ 유도 결합형 플라즈마의 압력과 혼합가스 비율에 따른 이온 및 중성기체 밀도 분포
전기학회논문지
2017 .02
-
Ar/N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마의 N₂ 함량에 따른 플라즈마 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
-
정전 탐침법과 유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2016 .07
-
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
-
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
-
유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar/CH₄ 플라즈마의 특성 분석
전기학회논문지
2016 .08
-
유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O5 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
-
유체 시뮬레이션을 이용한 N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
-
고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
-
Aspect Ratio 변화에 따른 Plasma Uniformity 변화
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .10
-
상부 유도 결합 플라즈마에서 챔버 길이에 따른 전기적 특성 및 플라즈마 분포
전기학회논문지
2022 .08
-
중성 종의 열 유동 해석 및 플라스마 유체 시뮬레이션을 이용한 유도 결합 Ar/H2 플라스마의 특성 분석
전기학회논문지
2022 .02
-
Cutoff Probe를 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2016 .10
-
A Study on the properties of silicon nitride thin films deposited with a diiodosilane (SiH₂I₂) precursor
대한전자공학회 학술대회
2021 .06
-
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
-
아르곤/이산화탄소 혼합가스의 유도 결합 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 연구
KEPCO Journal on electric power and energy
2015 .01
-
산소 유량별 플라즈마 방출광원 세기에 따른 전자온도 진단과 산화주석박막 특성연구
한국표면공학회지
2016 .02
-
유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2015 .04
-
0D 글로벌 모델을 활용한 유도 결합 플라즈마 내부 Ar/H₂S 화학반응 메커니즘 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
-
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0