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이희찬 (한국기초과학지원연구원) 김가연 (한국기초과학지원연구원) 변미랑 (한국기초과학지원연구원) 홍태은 (한국기초과학지원연구원) 윤장희 (한국기초과학지원연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 추계학술대회
발행연도
2021.12
수록면
164 - 164 (1page)

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극미세 영역인 나노 수준의 구조와 특성을 활용하는 나노기술이 발전함에 따라 극미세 영역의 분석의 필요성이 증가하고 있다. 이에 따라, 나노 단위의 분해능을 가진 장비들을 활용한 분석기술이 더더욱 주목받고 있다. 초미세 이차이온 질량분석기(Nano Secondary Ion Mass Spectrometer, Nano-SIMS)란 수십-수백 나노 수준의 일차이온빔을 고체표면에 충돌시켜 튀어나오는 이차이온을 측정하는 장비이다. 이 ... 전체 초록 보기

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