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박지수 (서울과학기술대학교) 조영학 (서울과학기술대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
380 - 380 (1page)

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본 연구에서는 방사능 피폭 단백질을 검출하기 위해 실리콘 나노와이어 FET (Field-effect-transistor) 기반의 바이오 센서를 제작하고 이를 이용하여 전기적 신호를 검출하고 분석하고자 하였다. Top layer 가 200 nm 인 SOI (Silion-on-insulator) 웨이퍼에 기본적인 MEMS (Micro-electro-mechanical Systems) 공정인 포토리소그라피(Photolithography), 반응성 이온 식각(Reactive Ion Etching, RIE) 및 KOH (Potassium Hydroxide) 이방성 습식 식각 공정을 통해 폭 200 nm, 길이 2 mm 인 나노와이어 구조물을 제작하였다. 실리콘 나노와이어의 전기적 특성을 향상시키고 npn 접합 형태의 디바이스로 만들기 위해 실리콘 나노와이어에 n 형 불순물인 P (Phosphorus) 이온을 부분적으로^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11040669');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Silicon nanowire #Field-effect-transistor #Radiation-exposed protein

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