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저자정보
Dongwan Ko (Korea Basic Science Institute) Gayeon Kim (Korea Basic Science Institute) Mirang Byeon (Korea Basic Science Institute) Tae Eun Hong (Korea Basic Science Institute) Jang-Hee Yoon (Korea Basic Science Institute)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회
발행연도
2021.6
수록면
167 - 167 (1page)

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국내외로 재료 산업에서 표면 분석에 대한 중요성은 오래 전부터 대두되어 왔다. 재료의 표면은 다른 물질과 접촉 시 가장 먼저 반응이 나타나므로, 재료의 표면 특성을 파악하는 것은 매우 중요하다. 또한 현재 첨단소재들은 초고집적화가 빠르게 진행되고 있어, 다층 박막과 얕은 영역(Shallow region)에 대한 정확한 깊이분포 분석이 첨단소재 들의 물성 특성을 이해하기 위해서 매우 중요해지고 있다 [1]. 이차이온질량분석기(SIMS; Secondary Ion Mass Spectrometry)는 일차 이온원을 시료 표면으로 입사시켜 방출되는 이차 이온을 질량 분별하여 분석하는 표면분석 장비로, SIMS의 특징이자 장점은 미량 원소 분석(trace element analysis)이 가능하다는 점과 깊이방향으로의 깊이분포 분석(Depth profile)이 가 ... 전체 초록 보기

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