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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.12
- 수록면
- 39 - 39 (1page)
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The salt-film and water acceptor mechanisms were generally accepted mechanisms for Cu electrochemical polishing (ECP) theory. These mechanisms of Cu ECP are still controversial for a long time. Conventional and new electrochemical analysis methods were used to investigate the mechanisms and behaviors of Cu electrochemical polishing. Two cases of Cu dissolution, with and without polishing, were classified by results of linear scan voltammetry (LSV) and scanning electron microscopy (SEM). The electrochemical impedance spectroscopy (EIS) showed results the main difference in these two cases was ... 전체 초록 보기
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