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저자정보
조용상 (삼성전자공과대학교) 정황 (삼성전자) 양세언 (삼성전자) 김한구 (삼성전자공과대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2021년도 대한전자공학회 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
126 - 129 (4page)

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포토마스크 제작에 있어 이미지 정렬 불량을 개선하기 위해 CDL(Charge Dissipation Layer) Coating 공정을 도입하였다. CDL Coating 공정이 도입되면서 산성인 CDL에 부식 되지 않는 PTFE로 Coating한 Chuck을 사용하였으나 ESD로 인해 포토마스크 표면에 불량이 발생하였다. 이를 개선 하기 위해 Chuck의 재질 차이에 따른 정전기 발생에 대한 이론적 탐구를 진행하였으며 정전기 발생에 취약한 PTFE 재질 대신 Carbon Black을 Coating한 Chuck을 제작하여 평가하여 Coating 재질 차이에 따른 정전기 발생의 차이를 확인할 수 있었다. 본 논문에서는 Chuck의 재질 차이에 따른 정전기 발생 차이를 분석하고 이 결과가 ESD 불량과 매우 밀접한 상관관계를 가지고 있음을 제시하고자 한다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 현상 분석
Ⅲ. 실험
Ⅳ. 결론
참고문헌

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