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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2021년 학술대회
발행연도
2021.11
수록면
1,406 - 1,406 (1page)

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A mixed refrigerant(MR) Joule-Thomson(J-T) refrigeration system for –100℃ temperature was designed to be applied to the semiconductor etching process. 2-stage cascade type MR J-T refrigerator and 3-stage cascade refrigeration system are analyzed to figure out the coefficient of performance (COP). Working fluids of the MR J-T refrigerator are mixture of argon(Ar), tetrafluoromethane(R14), trifluoromethane(R23) and Octafluoropropane(R218). The design of experiment for mixtur ... 전체 초록 보기
#초저온(Low temperature) #혼합냉매(Mixed refrigerant) #냉동기(Refrigerator)

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