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고준석 (한국기계연구원) 박지호 (한국기계연구원) 김효봉 (한국기계연구원) 김종우 (한국기계연구원) 추상윤 (한국기계연구원) 염한길 (한국기계연구원) 홍용주 (한국기계연구원) 인세환 (한국기계연구원) 박성제 (한국기계연구원)
저널정보
한국동력기계공학회 동력시스템공학회지 동력시스템공학회지 제26권 제5호
발행연도
2022.10
수록면
38 - 43 (6page)
DOI
10.9726/kspse.2022.26.5.038

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This paper describes cooling performance test of a high capacity ultra-low temperature stirling cooler for semiconductor manufacturing process. A stirling cooler has the better efficiency and reliability compare with a conventional vapor-compression refrigerator at ultra low temperature around -100℃. Moreover, it uses helium gas as a refrigerant, of which GWP is zero. In this study, a gamma-type stirling cooler driven by a double-acting linear compressor is developed and tested. From experiments, the developed stirling cooler reaches from room temperature to -100℃ within 10 minutes. The cooling capacity and electric input power are measured for a wide range of input voltages, and it shows 0.39 to 1.75 kW of cooling capacity and 0.282 to 0.358 of COP at -100℃ of cold-end temperature.
#Ultra low temperature #Stirling cooler #Deep etching #Semiconductor #Linear compressor coefficients

목차

Abstract
1. 서론
2. 스터링 냉동기 및 성능시험 장치
3. 실험결과 및 토의
4. 결론
References

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