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심재훈 (충북대학교) 김진수 (충북대학교 환경공학과) 이한슬 (충북대학교 환경공학과) 강민구 (충북대학교 환경공학과) 문기학 (성진엔지니어링(주)) 이상철 (한국수자원공사) 이상일 (충북대학교)
저널정보
한국수처리학회 한국수처리학회지 한국수처리학회지 제23권 제5호
발행연도
2015.1
수록면
81 - 88 (8page)

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In the process using a variety of hazardous chemicals such as semiconductor or LCD process, hydrochloric acid, hydrofluoric acid, such as harmful chemicals have been discharged into the exhaust gas. In general, in order to remove these exhaust gases, used a scrubber unit at the last stage. The wet scrubber of the scrubber units is makes a droplet through the nozzle by applying pressure to the liquid and the droplets are contacted at suspended gas flow so that suspended dust are collected, and is a device that can also be removed at the same time toxic gases. The wastewater from the wet scrubber in semiconductor process is not only harmful chemicals in the course of recycling, the fluorine compounds are highly concentrated. These fluorine compounds have devised a scrubber wastewater treatment by coagulation and filtration process using alum because it can adversely affect the human health. 94.5% of the fluoride was removed from the coagulation process, ecological toxicity was reduced to zero, the turbidity was removed by filtration to 99.4%.

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