메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
류재용 (경남대학교)
저널정보
한국폐기물자원순환학회 한국폐기물자원순환학회지 한국폐기물자원순환학회지 제35권 제3호
발행연도
2018.1
수록면
250 - 257 (8page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
PFC (perfluorocompound) gases have an extremely high global warming potential (GWP). A study of the destructionof NF3, CF4 and SF6 gases emitted from the semiconductor industry was attempted by plasma power at 4.4 kW, 5.5 kW,6.0 kW, 6.6 kW, 7.6 kW, 8.1 kW and 9.1 kW. As electric power increased, DRE (destruction and removal efficiency) ofNF3, CF4 and SF6 was also increased. It was confirmed through experiment that the DRE of NF3 is 99% at 7.6 kW, 97%for CF4 at 9.14 kW and 100% for SF6 at 7.6 kW of plasma power. By-products formed by PFC destruction were mainlyF2, SO2F2, NOx and CO gases. In addition, particulate matter was formed, and particle were proven to be AlF3.

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
박준형 / 2017 / 전자빔을 이용한 SF6 처리 공정의 경제성 분석 / 한국대기환경학회지 33(4):370~376 Crossref 김정은 / 2013 / 불화가스 분리를 위한 분리막 적용 연구 / 한국폐기물자원순환학회지 30(2):173~180 dbpia 류재용 / 2012 / 전자빔 기술을 이용한 반도체 공정의 삼불화질소(NF3) 분해 / 대한환경공학회지 34(6):391~396 google schola 송창호 / 2011 / 수소 가스를 첨가한 글라이딩 아크 플라즈마의 과불화화합물(PFCs) 가스 분해 특성 / 조명.전기설비학회논문지 25(4):65~70 dbpia Moon, D. D. / 2013 / The progress in $NF_3$ destruction efficiencies of electrically heated scrubbers / Analytical Science & Technology 38(5):75~95 google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0