지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 1 - 6 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Nitrogen trifluoride (NF3) and Sulfur hexafluoride (SF6) are usually used as novel etching and cleaning gases in semiconductor industry and electrical equipments. Recently, the many studies about PFCs decomposition have been performed due to high global warming potential (GWP). This study is to identify the effects of the hydrogen on the destruction and removal efficiency (DRE) of NF3 and SF6 when using the electron-beam. The experiment was conducted at a flow rate of 10 LPM with NF3 and SF6 of 1,000 ppm. Absorbed dose (electric current) was 1,028 kGy (5 mA). The DREs of NF3 and SF6 gases increased about 54% and 68% respectively with hydrogen injection. By-products formed by NF3 and SF6 destruction were mainly HF and F2 gases. In addition, the particles were generated during the NF3 and SF6 destruction due to corrosion of reactor and SF6 decomposion, respectively.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (15)
참고문헌 신청
Shoeib, M. / 2010 / Survey of polyfluorinated chemical (PFCs) in the atmosphere over the northeast Atlantic Ocean / Atmospheric Environment 44:2887~2893
Choi, S. / 2012 / A comparative study of air nitrogen thermal plasmas for PFCs decomposition / Chemical Engineering Journal 185(186):193~200
Rahman, M. A. / 2012 / Electron ionization of NF3 / International Journal of Mass Spectrometry 319(320):48~54
Shiojiri, K. / 2006 / Separation of F-gases (HFC-134a and SF6) from gaseous mixtures with nitrogen by surface diffusion through a porous Vycor glass membrane / Journal of Membrane Science 282:442~449
Tasi, W. T. / 2007 / The decomposition products of sulfur hexafluoride (SF6): Reviews of environmental and health risk analysis / Journal of Fluorine Chemistry 128(11):1345~1352
Choi, S. / 2012 / A comparative study of air nitrogen thermal plasmas for PFCs decomposition / Chemical Engineering Journal 185(186):193~200
Rahman, M. A. / 2012 / Electron ionization of NF3 / International Journal of Mass Spectrometry 319(320):48~54
Shiojiri, K. / 2006 / Separation of F-gases (HFC-134a and SF6) from gaseous mixtures with nitrogen by surface diffusion through a porous Vycor glass membrane / Journal of Membrane Science 282:442~449
Tasi, W. T. / 2007 / The decomposition products of sulfur hexafluoride (SF6): Reviews of environmental and health risk analysis / Journal of Fluorine Chemistry 128(11):1345~1352
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
플라즈마 이용 반도체 공정의 과불화화합물(NF3, CF4, SF6) 분해 연구
한국폐기물자원순환학회지
2018 .01
-
우리의 가까운 미래, SF 소설
지반(한국지반공학회지)
2018 .03
-
센서 종류에 따른 SF6 가스 및 공기의 부분방전 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2022 .07
-
Dynamic Optimization of the PWR SF Transportation With Constraints on Storage Capacity and SF Movement
한국방사성폐기물학회 학술대회
2018 .01
-
Research on Liquefaction Characteristics of SF6 Substitute Gases
Journal of Electrical Engineering & Technology
2018 .11
-
SF6-N2 혼합가스 중 돌출 결함의 부분방전 특성
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
SF6 가스 내 결함의 온도별 기압별 부분방전 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .10
-
Installation and Test Run of Comprehensive Analysis System for SF<sub>6</sub> in Power Equipment
KEPCO Journal on electric power and energy
2017 .01
-
노후 공공주택단지의 통합적 재생을 위한 지원제도에 관한 연구 : 샌프란시스코시 HOPE SF 프로그램을 중심으로
한국산학기술학회 논문지
2015 .04
-
반도체/디스플레이 산업의 폐가스로부터 SF6가스의 분리회수 시스템에 관한 연구
한국에너지기후변화학회 학술대회
2015 .11
-
전극 형상에 따른 SF6 가스의 절연파괴 전압 예측
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .11
-
SF+AW 2022, ‘디지털 전환, 도전 넘어 현실로
자동화기술
2022 .05
-
[SF+AW 2022 개요] 이제는 모두의 제조 디지털 혁신이다
자동화기술
2022 .04
-
SF+AW 2022 - 3만5천여명 운집한 SF+AW, ‘디지털 전환, 도전 넘어 현실로’
전자기술
2022 .05
-
혐기성 공동소화 공정에서 커피찌꺼기 산 발효액이 바이오가스 생산에 미치는 영향
한국수처리학회지
2021 .08
-
SF+AW 2022 대표 참가기업 둘러보기
전자기술
2022 .05
-
중전기기 절연용 고농도 폐 육불화황(SF6)의 플라즈마 열분해특성 및 부산물 고정화 기초 연구
한국폐기물자원순환학회지
2020 .01
-
종합병원 간호사들의 직무스트레스와 건강수준(SF-36)과의 관련성
한국산학기술학회 논문지
2015 .07
-
SF6 가스절연 가공개폐기 부분방전 진단 및 상태분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .07
-
SF6, g3 및 Dry Air 절연에서 PD 특성 비교 분석
전기전자재료학회논문지
2020 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0