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저널정보
한국폐기물자원순환학회 한국폐기물자원순환학회지 한국폐기물자원순환학회지 제30권 제2호
발행연도
2013.1
수록면
173 - 180 (8page)

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Of the 6 most abundantly recognized Greenhouse Gases, SF6 (Sulfur Hexafluoride) is one of the most potentially consequential gases to Global Warming. The permeation characteristics of fluorinated gases N2 and SF6 used in the semiconductor processes were examined by study through the processes that occur during the Hollow Fiber Membrane Separation Technology. The developed module had a permeance of 8.83 ~ 17.40 GPU for N2 with N2/SF6 selectivity of 8.64 ~ 40.80 at various pressure and temperature. The SF6 isolation results showed the variables increased SF6 concentration levels of 13% ~ 63%, with a yield increase of 50% ~ 96%. These results are proven to be well utilized in the semiconductor manufacturing processes in the recovery of SF6 through the Hollow Fiber Membrane Separation Technology.
#Permeance #Membrane #Separation #Electronics industry #Fluorinated gases

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Tsai, W. T / 2007 / The decomposition products of sulfur hexafluoride (SF6) : Reviews of environmental and health risk analysis / Journal Fluorine Chemistry 128(11):1345~1352 google schola 이현정 / 2011 / 고분자 중공사 분리막을 이용한 N_2/SF_6 혼합가스로부터 SF_6의 분리 및 회수 / 대한환경공학회지 33(1):47~53 google schola Barbari, T. A. / 1998 / Gas transport in polymers based on bisphenol-A / Journal of Polymer Science Part B 26(4):709~727 google schola 이상협 / 2010 / 고분자 분리막 재질 변화에 따른 O2, CF4, SF6 투과도 및 투과선택도 특성 변화에 대한 연구 / 멤브레인 20(3):249~258 google schola Kim, J. H. / 2002 / Research Trend of Membrane Technology for Separation of Carbon Dioxide from Flue Gas / Journal Membrane 12:121~142 google schola

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