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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2020.1
- 수록면
- 466 - 472 (7page)
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Poly-para-xylylene C (Parylene C) and Aluminium Nitride (AlN) multilayered thin films using a single chamber are proposedto achieve transparent passivation for organic light-emitting diodes (OLED). Parylene C-AlN multilayered thin filmswere obtained through a sequential deposition of Parylene C layers by an optimized chemical vapor deposition as well asdeposition of AlN layers by radio frequency reactive sputtering within a short process time at room temperature. An OLEDpassivated with the thin film showed a significant extension of shelf-life of 400 h at 25 °C and 30% RH without any formationof dark spots during the shelf-life analysis, while a reference OLED without any passivation film was degraded within24 h. In addition, the multilayered passivation films exhibited considerable optical transparency with transmittance greaterthan 85% in the visible range. This result demonstrates that Parylene C-AlN multilayered films can be successfully depositedwithin a short time at room temperature in a single chamber for passivation applications in transparent flexible OLEDs andother organic electronic devices.
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