에어로졸 증착법에 의해 제조된 PZN-PZT 후막의 전기적특성

Ochirkhuyag Tungalaltamir; 장주희; 박윤수; 박동수; 박찬

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자료유형: 학술저널

저자정보: Ochirkhuyag Tungalaltamir (부경대학교) 장주희 (부경대학교) 박윤수 (부경대학교) 박동수 (재료연구소) 박찬 (부경대학교)

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제30권 제5호

발행연도: 2020.1

수록면: 183 - 188 (6page)

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에어로졸 증착법에 의해서 상온에서 5~10 ?m 두께의 PZN-PZT(0 %, 20 %, 40 %) 복합체의 막을 실리콘/사파이어 기판 위에서 제조하였다. PZN의 농도는 0%, 20% 및 40%까지 첨가하였다. 실리콘기판 및 사파이어 기판 위에서 증착된 막은 전기로에서 700oC 및 900oC에서 각각 어닐링처리 하였으며 900oC에서 어닐링한 경우의 잔류분극 및 유전 상수 등의 전기적 특성이 700oC에서의 특성보다 우수하였다. 특히 900oC에서 어닐링한 2PZN-8PZT 막의 경우 1200oC에서 소결한같은 조성의 벌크재에서 얻은 값과 상호 비교하였다. 열처리 온도가 높아짐에 따라 유전상수가 증가하는 경향을 보이는데이는 후열처리에 따른 막의 결정성의 향상과 입자 성장으로 기인한다.

#PZN #PZT #Relaxor #Aerosol-deposition process #Electrical properties

참고문헌 (14)

참고문헌 신청

G. H. Haertling / 1999 / Ferroeletric ceramics : Histrory and technology / J. Am. Ceram. Soc 84:797

Q. F. Zhou / 2000 / PZT ceramic/ceramic 0-3 nanocomposite films for ultrasonic transducer applications / Thin Solid Films 375:95

J. Akedo / 1999 / Microstructure and electrical properties of lead zirconate titanate thick films deposited by aerosol deposition method / Jpn. J. Appl. Phys 38:5397

J. Akedo / 2002 / Effects of annealing and poling conditions on piezoelctric properties of Pb(Zr0.52,Ti0.48)O3thick films formed by aerosol deposition method / J. Cryst. Growth 235:415

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