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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.6
- 수록면
- 55 - 55 (1page)
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Crystalline In-Sn-O thin films are widely used as electrode materials in various electronic devices such as flat panel displays and solar cells due to the high electrical conductivity and good optical transparency in the visible region. However, Crystalline In-Sn-O thin films are widely used as electrode materials in various electronic devices such as flat panel displays and solar cells due to the high electrical conductivity and good optical transparency in the visible region. However, the rough surface morphology induces severe drawbacks in their thin-film applications. In this study, we demonstrate the hydrogen-driven surface amorphization of the crystalline In-Sn-O (c-ITO) thin film. By introducing a small amount of hydrogen gas during the sputtering process, the surface of the c-ITO thin film is selectively amorphized, which results in smooth surf ... 전체 초록 보기
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