Hydrogen-driven surface amorphization of In-Sn-O thin films for enhanced work function

송영하; 김서한; 송풍근

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 송영하 (부산대학교) 김서한 (부산대학교) 송풍근 (부산대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 추계학술대회

발행연도: 2021.12

수록면: 107 - 107 (1page)

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The crystallinity of transparent conductive oxide (TCO) thin films plays an essential role in determining their physical properties and surface morphology. The crystalline TCO thin films exhibit excellent electrical conductivity and optical transparency due to the well-aligned periodic array of the constituent elements. However, the grain boundary is naturally formed during the grain growth process, leading to the high surface roughness in addition to the inhomogeneity of their electrical and optical properties, which hinder their application in the thin-film devices. In contrast, the amorphous TCO thin films shows smooth surface morphology and large-area uniformity of the electrical and optical properties due to the absence of the grain boundary. However, the electron mobility and optical transparency of the a-TCO thin films are, in general, lower than those of c-TCO thin films because the disordered array of the constituent elements induces the significant electron-phonon scattering and also forms the tail states near the conduction band minimum and valence band maximum. Unfortunately, the advantages of the c-TCO and a-TCO thin films are mutually incompatible in the conventional form; thus, either one of them has been selected when they are utilized for the thin film devices. The surface modification of c-TCO thin films can be considered to take both advantages, which may serve the improved surface state ... 전체 초록 보기

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