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학술저널
저자정보
모영준 (Seoul National University of Science & Technology) 이기성 (Seoul National University of Science & Technology) 박태성 (Seoul National University of Science and Technology) 박익근 (Seoul National University of Science & Technology) 김용성 (Seoul National University of Science & Technology)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.29 No.2
발행연도
2020.4
수록면
134 - 140 (7page)
DOI
10.7735/ksmte.2020.29.2.134

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We prepared ITO thin films using a recycled target with composition ratio of In₂O₃ : SnO₃ (90 : 10 wt%). ITO thin films deposited on a glass plate at room temperature were examined for surfaces and micro structures at different heat-treatment temperatures. The mechanical properties of the transparent electrodes were also evaluated using an ultrasonic microscope and nanoindenter. When the annealing temperature was above 200℃, the ITO thin films showed stable transparent-electrode characteristics with resistivity of 1.55 × 10<SUP>-4</SUP> Ωcm and high transmittance of > 85% at 550 nm through the processes of recovery and recrystallization. Results of nondestructive characterization using the ultrasonic microscope for the ITO thin-film surfaces and internal defects showed that the effects of changes to the internal defect density in the films were more dominant than those to the film surfaces. In addition, the film durability was evaluated by measuring the plasticity index using a nanoindenter.
#Recycling target #ITO #Nanoindenter #Plasticity index #Ultrasonic microscope #Durability

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (19)

참고문헌 신청
Minh Trung Dang / 2014 / A Green Approach to Organic Thin-Film Electronic Devices: Recycling Electrodes Composed of Indium Tin Oxide (ITO) / ACS Sustainable Chemistry & Engineering 2(12):2715~2721 Crossref Yoichi Hoshi / 2003 / Structure and electrical properties of ITO thin films deposited at high rate by facing target sputtering / Thin Solid Films 445(2):245~250 Crossref F. Kurdesau / 2006 / Comparative study of ITO layers deposited by DC and RF magnetron sputtering at room temperature / Journal of Non-Crystalline Solids 352(9-20):1466~1470 Crossref Vinh Ai Dao / 2010 / rf-Magnetron sputtered ITO thin films for improved heterojunction solar cell applications / Current Applied Physics 10(3):506~509 google schola Jiaxu Yang / 2013 / Indium recovery from discarded LCD panel glass by solvent extraction / Hydrometallurgy 137:68~77 Crossref

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