고성능 MISFET형 수소센서의 제작과 특성

강기호; 박근용; 한상도; 최시영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 강기호 박근용 한상도 최시영

저널정보: 한국수소및신에너지학회 한국수소및신에너지학회논문집 한국수소 및 신에너지학회 논문집 제15권 제4호

발행연도: 2004.12

수록면: 317 - 323 (7page)

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#수소 센서 #이중 절연층 #Double insulation layers #Hydrogen Sensor #Pd/NiCr Gate MISFET

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한상도

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최시영

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