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신승항 (창원대학교) 윤재현 (창원대학교) 김석 (창원대학교) 조영태 (창원대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
492 - 492 (1page)

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기판에 미세 패턴을 형성하여 표면 특성을 제어하는 정밀 공정에 관한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 그 중에서도 나노 임프린트 리소그래피 공정은 현재 산업계에서 지배적으로 이용되고 있는 포토 리소그래피에 비해 공정이 간단하며, 비용이 저렴하다는 점에서 상대적인 장점을 가진다. 이러한 나노 임프린트 공정은 초발수, 방오, 방빙 성능을 가지는 기능성 필름과 색이 변하는 특성을 가지는 색변환 필름 등을 제작하는데 사용되며, 보안 산업 및 인테리어 산업 등 여러 산업 분야에 적용된다. 본 연구에서는 나노 임프린트 공정에 쓰이는 다양한 레진에 대해 조사되는UV 에너지량에 따라 ... 전체 초록 보기
#Nano-imprint lithography #UV curing resin #IR spectrometer #Photopolymerization

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