임프린트 리소그래피 기법에서 수축에 의한 자외선 경화성 레진의 준 액상 거동

김민수; 곽문규

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김민수 (경북대학교) 곽문규 (경북대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2018.5

수록면: 703 - 703 (1page)

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김민수

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M. K. Kwak

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