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김재열 (공주대학교) 이학준 (한국생산기술연구원) 양대종 (공주대학교) 윤정훈 (공주대학교) 안다훈 (공주대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
391 - 391 (1page)

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이전의 이중 서보 구조 이송 시스템은 다물체 모션으로 인해 외란에 취약하고 제어가 복잡하며, 공기베어링의 사용으로 진공 환경 공정이 불가하여 성능에 한계를 보이고 있다. 위치 결정 시스템의 한 종류인 자기 부상 이송 시스템은 이송체를 전자기력으로 부상시키고 동시에 추진하여 이송하는 시스템으로, 가이드 없이 비접촉 및 무마찰 구동을 통해 위치를 결정하는 장치이다. 따라서, 장행정 및 고정밀 모션을 동시에 구현하기 적합한 시스템이며, 진공 또는 청정 조건이 요구되는 특수 환경에서 사용 가능한 자기 부상 이송 기술이 차세대 핵심 기술로 주목받 ... 전체 초록 보기

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