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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.38 No.7
- 발행연도
- 2021.7
- 수록면
- 471 - 478 (8page)
- DOI
- 10.7736/JKSPE.021.013
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Silicon carbide (SiC) has been used as a material for semi-conductor, molds, and micro-electro-mechanical systems (MEMS) because of its superior thermal, electrical, and mechanical properties. However, micro machining of SiC is very challenging due to its hardness and brittleness. This paper presents an experimental study of micro hole drilling of SiC. In this study, polycrystalline diamond (PCD) was used as a tool to overcome the hardness of SiC. The micro PCD tool with a diameter of 110 μm was fabricated by micro electrical discharge machining (EDM). Micro drilling was conducted with varying machining parameters such as tool rotational speed and feed rate. Effects of surface roughness of the tool and lubrication method were also investigated.
목차
1. 서론
2. 실험 장치
3. 실험 방법
4. 실험 결과
5. 결론
REFERENCES
참고문헌 (23)
참고문헌 신청
Groover, M. P., “Fundamentals of Modern Manufacturing: Materials, Processes, and Systems,” John Wiley & Sons, 6th Ed., 2015.
Hasan, M., Zhao, J., and Jiang, Z., “A Review of Modern Advancements in Micro Drilling Techniques,” Journal of Manufacturing Processes, Vol. 29, pp. 343-375, 2017.
Yokomizo, S., Kubota, S. I., and Uno, Y., “High Performance Drilling of Monocrystalline Silicon Using Monocrystalline Diamond Drill,” Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol. 72, No. 2, pp. 234-238, 2006.
D’Urso, G., Giardini, C., and Ravasio, C., “Effects of Electrode and Workpiece Materials on the Sustainability of Micro-EDM Drilling Process,” International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, Vol. 19, No. 11, pp. 1727-1734, 2018.
Hea, D., Kim, K. H., Cho, D. H., and Kim, K. J., “Nd: YAG Fiber Laser Drilling Characteristics of Alumina Plates,” Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 35, No. 11, pp. 1055-1061, 2018.
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