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자료유형
학술저널
저자정보
이주현 (숭실대학교) 양찬영 (숭실대학교) 김보현 (숭실대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.41 No.2
발행연도
2024.2
수록면
131 - 137 (7page)
DOI
10.7736/JKSPE.023.137

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Silicon carbide (SiC) is chemically stable, highly heat-resistant, and resistant to thermal shock. SiC having excellent characteristics in a high temperature and high voltage environment is used in high-power semiconductors, highprecision mechanical devices, optical components, etc. As it is used in various industries, there is a growing demand for processing fine holes or grooves in silicon carbide. In this study, micro holes and grooves were machined on 4HSiC and sintered SiC using electrical discharge machining (EDM). Silicon carbide which has very high hardness can be easily processed by EDM as compared with mechanical processes. As a tool material, a polycrystalline diamond (PCD) which has high wear resistance was used and a micro tool of a diameter of 100 μm was fabricated by wire electrical discharge grinding (WEDG). In the EDM of SiC, the machining characteristics such as surface roughness, discharge gap, and tool wear were investigated.
#Silicon carbide (탄화규소) #EDM (방전가공) #PCD (다결정 다이아몬드) #Hole (구멍) #Groove (홈)

목차

1. 서론
2. SiC 재료와 실험 장치
3. 실험 방법
4. 실험 결과
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (28)

참고문헌 신청
Cho, Y., Hwang, J., Park, M.-S., Kim, B. H., (2022), Fabrication methods for microscale 3D structures on silicon carbide, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 23(12), 1477-1502. google schola Shin, H.-S., Kim, B.-H., Kim, G.-M., Chung, D.-K., Chu, C.-N., (2009), Micro electrochemical machining using a multi-function electrode, Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A, 33(5), 496-501. google schola Moon, I. Y., Chung, D. K., Kim, B. H., (2018), Fabrication of micro tool electrode by micro EDM using wear ratio, Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, 27(1), 1-6. 10.7735/ksmte.2018.27.1.1 google schola Jo, C.-H., Kim, B.-H., Chu, C.-N., (2008), Electrochemical machining using a disk electrode for micro internal features, Journal of the Korean Society for Precision Engineering, 25(7), 139-144. google schola Lee, P. A., Nam, E., Kim, B. H., (2018), The state of the art in electrochemical micro machining technologies, Journal of the Korean Society for Precision Engineering, 35(3), 229-239. google schola

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