유연소자 연속생산 공정의 기판 변형 보상을 위한 DMD 기반의 디지털 리소그래피 시스템

최진수; 이원섭; 조현민; 김기홍; 장원석; 유홍기

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저자정보: 최진수 (KAIST) 이원섭 (한국기계연구원) 조현민 (한국기계연구원) 김기홍 (한국기계연구원) 장원석 (한국기계연구원) 유홍기 (KAIST)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2023년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2023.5

수록면: 811 - 811 (1page)

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