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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.21 No.1
- 발행연도
- 2021.2
- 수록면
- 21 - 28 (8page)
- DOI
- 10.5573/JSTS.2021.21.1.021
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In order to realize soft grasp of robot manipulator, distance sensors need to be installed in the robotic fingers. CMUT (Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer), which owns advantages of extra small size and excellent dielectric impedance matching, meets the demand very well. However there are some difficulties in design and fabrication of a CMUT device. In this paper we propose a novel CMUT design technique based on the integration of standard 0.18 um CMOS process and MEMS process. The design and post processing of CMUT is explained in detail. The fabricated CMUT is tested. It is found that the signal is not detected from some devices. Therefore, the failure analysis of CMUT is carried out in some aspects. Finally, fatigue failure is determined as the cause of the failure.
목차
Abstract
I. INTRODUCTION
II. THE DESIGN OF CMUT
III. MEMS FABRICATION AND TEST ON CMUT
IV. FAILURE ANALYSIS ON CMUT
V. FATIGUE SIMULATION ON CMUT
V. SUMMARY
REFERENCES
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
B. Cohen, A. Hessels, A. Kelly, L. Chen, and E. Larson, “Impact of Exposures and Outbreaks on Staff Nurse and Infection Preventionist Workload,” Am. J. Infect. Control, vol. 47, no. 6, p. S7, 2019.
B. Liu, L. Wang, and M. Liu, “Lifelong federated reinforcement learning: a learning architecture for navigation in cloud robotic systems,” IEEE Robot. Autom. Lett., vol. 4, no. 4, pp. 4555-4562, 2019.
J. Kiihamaki, J. Dekker, and P. Pekko, “‘Plugup’— a new concept for fabricating SOI MEMS devices,” Microsyst. Technol., vol. 10, no. 5, pp. 346-350, 2004.
A. S. Savoia, G. Caliano, and M. Pappalardo, “A CMUT probe for medical ultrasonography: From microfabrication to system integration,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control, vol. 59, no. 6, pp. 1127-1138, 2012, doi: 10.1109/TUFFC.2012.2303.
M. M. Khanghah and K. D. Sadeghipour, “A 0.5 V offset cancelled latch comparator in standard 0.18 um CMOS process,” Analog Integr. Circuits Signal Process., vol. 79, no. 1, 2014.
B. Liu, L. Wang, and M. Liu, “Lifelong federated reinforcement learning: a learning architecture for navigation in cloud robotic systems,” IEEE Robot. Autom. Lett., vol. 4, no. 4, pp. 4555-4562, 2019.
J. Kiihamaki, J. Dekker, and P. Pekko, “‘Plugup’— a new concept for fabricating SOI MEMS devices,” Microsyst. Technol., vol. 10, no. 5, pp. 346-350, 2004.
A. S. Savoia, G. Caliano, and M. Pappalardo, “A CMUT probe for medical ultrasonography: From microfabrication to system integration,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control, vol. 59, no. 6, pp. 1127-1138, 2012, doi: 10.1109/TUFFC.2012.2303.
M. M. Khanghah and K. D. Sadeghipour, “A 0.5 V offset cancelled latch comparator in standard 0.18 um CMOS process,” Analog Integr. Circuits Signal Process., vol. 79, no. 1, 2014.
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