Effect of Yttrium Doping on Ferroelectricity of As-grown Hf_1-xZr_xO₂ Thin Films via Atomic Layer Deposition

오유경 ,  김효배 ,  안지훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

Enhanced electrical properties of ZrO₂ thin films using atomic layer deposition with a novel precursor

Ji Hwan Kim ,  Seung Won Lee ,  Yoonchul Shi 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature

Suyeon Kim ,  Seung-Hun Lee ,  In Ho Jo 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

원자층 증착법으로 증착된 MoO_x를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지

정민지 ,  조영준 ,  이선화 외 4명

한국재료학회지

2019 .01

Improved Film properties of Al₂O₃ Film Deposition on Graphene substrates deposited by UV-assisted Atomic Layer Deposition

Geonwoo Pa ,  k ,  Jeong Woo Shin 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교

정헌준 ,  최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Bluetooth통신을 이용한 Automatic Cocktail Maker

박종찬 ,  조예림 ,  류장렬

Proceedings of KIIT Conference

2017 .06

Bandgap Control of Sn_1-xMg_xO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method

Jin Gi An ,  Juwon Kim ,  Donghyeop Shin 외 10명

AFORE

2023 .11

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Role of a PVA layer During lithography of SnS₂ thin Films Grown by Atomic layer Deposition

Ham ,  Giyul ,  Shin 외 7명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

Atomic layer deposition의 표면 반응 이해를 위한 Monte-Carlo 시뮬레이션을 활용한 표면흡착 모델

구본욱 ,  이한보람

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .12

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

신규 Hf 전구체를 이용한 고온 ALD HfO₂ 박막의 불순물 특성 개선

최창익 ,  박재찬 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

Atomic Layer Deposition on Nano-particles using External Vibration

S.W. Pa ,  k ,  G. D. Han 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12