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냉각채널을 포함한 정전척용 세라믹 멀티존 히터의 표면 온도 균일도 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .05
세라믹 정전척 평가를 위한 실시간 모니터링 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
세라믹 유전체 물질과 냉매 유로 형상에 따른 정전척 냉각에 관한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
정전척 표면의 세라믹물질 적층 순서에 따른 온도 특성에 관한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
유한요소법에 의한 적층형 세라믹 히터의 전극 패턴 최적화
전기전자재료학회논문지
2017 .12
구조물 예열용 세라믹히터 온도 제어장치 개발
전력전자학회 학술대회 논문집
2017 .07
수치 해석을 통한 열전척 내부 유로의 열 유동 특성 분석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .06
정전척 표면의 온도 균일도 향상을 위한 냉매 유로 형상에 관한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
실시간 히터 온도 제어를 위한 시스템 설계
대한전기학회 학술대회 논문집
2022 .07
해석을 통한 유도가열히터의 방열특성 연구
한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회
2017 .11
인공위성용 흑체 시스템의 온도제어를 위한 수치적 연구
한국추진공학회 학술대회논문집
2015 .11
히터의 저항 변화를 이용한 온도 측정과 제어
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
직수 세라믹 히터 온수기의 온도 제어 방법
Proceedings of KIIT Conference
2019 .06
메타모델을 통한 반도체 검사장비 최적형상의 온도 균일도 평가
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
온도 균일도 향상을 위한 대면적 서셉터의 설계 및 성능 시험
한국산학기술학회 논문지
2015 .06
수치 해석을 통한 열전척 내부 유로의 열 유동 특성 분석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
수치 해석을 통한 열전척 내부 유로의 열 유동 특성 분석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
척-웨이퍼 시스템의 고온 온도균일성 향상을 위한 실험적 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2020 .11
급속 승온 세라믹히터의 신뢰성 평가에 따른 고장해석
한국신뢰성학회 학술대회논문집
2018 .10
A Comparative Analysis of Gender-Specific Skin Temperature Responses to Different Foot Heaters
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
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