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학술저널
저자정보
박형근 (남서울대학교)
저널정보
한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제22권 제1호
발행연도
2021.1
수록면
327 - 332 (6page)

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패키지레벨에서 반도체의 신뢰성 검사는 테스트 소켓에 반도체 칩 패키지를 탑재시킨 상태에서 테스트가 진행되며, 테스트 소켓은 기본적으로 반도체 칩 패키지의 형태에 따라서 그 모양이 결정되는 것이 일반적이다. 또한, 반도체칩 패키지의 리드와 소켓 리드의 기계적인 접촉에 의해 테스트 장비와 연결하는 매개체의 역할을 하며, 신호전달 과정에서 신호의 손실을 최소화하여 반도체에 검사신호를 잘 전달할 수 있도록 하는 기능이 핵심이다. 본 연구에서는 이웃하고 있는 전기 전달 경로의 상호 영향성을 검사 할 수 있는 기술을 적용함으로써 수명 검사와 정밀 측정뿐만 아니라 이웃하고 있는 전기 전달 경로의 구조를 포함하여 단 한 번의 접촉을 통해 100개미만의 실리콘 테스트 소켓의 합선 테스트가 가능하도록 개발하였다. 개발된 장치의 테스트 결과 99%이상의 테스트 정밀도와 0.66이하의 동시 검사속도 특성을 나타내었다.
#Smiconductor Test #Test Socket #Package Level Test #Test Speed #Test Accuracy

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 반도체 검사방법 및 장치
3. 시제품 제작 및 성능시험
4. 결론
References

참고문헌 (5)

참고문헌 신청
Hyoung-Keun Park, “Development of Machine Vision Monitoring System for Semiconductor Package Sorter”, International Journal of Control and Automation , Vol. 9, No. 4, pp.63-72, 2016 DOI: https://dx.doi.org/10.14257/ijca.2016.9.4.07 google schola Hyoung-Keun Park, Keun-Wang Lee “Development of DWCCS for Chemical Temperature Control of Semiconductor Manufacturing”, International Journal of Control and Automation , Vol. 6, No. 3, pp.125-132, 2013 Website: https://www.earticle.net/Article/A20769 google schola Hyoung-Keun Park, “Study on the Silicon Pump and Control System for TFT-LCD Manufacturing Process,” Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society , Vol. 13, No. 8, pp.3618-3622, 2012 DOI: https://doi.org/10.5762/KAIS.2012.13.8.3618 google schola Hyoung-Keun Park, “Development of the Chemical Flow Control System for Spinner Equipment in Semiconductor Manufacturing Process,” Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society , Vol. 12, No. 4, pp.1812-1816, 2011 DOI: https://doi.org/10.5762/KAIS.2011.12.4.1812 google schola Hyoung-Keun Park, “Development on the Process Control System for Full Gate Visual Test of LCD Manufacturing Process”, Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society , Vol. 10, No. 7, pp.1725-1728, 2009 DOI: https://doi.org/10.5762/KAIS.2009.10.7.1725 google schola

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