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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.29 No.6
- 발행연도
- 2020.11
- 수록면
- 167 - 169 (3page)
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B. Wolf / 1995 / Handbook of Ion Sources / CRC Press
I. G. Brown / 2004 / The Physics and Technology of Ion Sources / John Wiley & Sons
E. Heinicke / 1969 / Nucl. Instrum. Methods 74:229
R. G. Wilson / 1973 / Ion beams: with applications to ion implantation
H. Schulte / 1976 / IEEE Trans. Nucl. Sci 23:1053
I. G. Brown / 2004 / The Physics and Technology of Ion Sources / John Wiley & Sons
E. Heinicke / 1969 / Nucl. Instrum. Methods 74:229
R. G. Wilson / 1973 / Ion beams: with applications to ion implantation
H. Schulte / 1976 / IEEE Trans. Nucl. Sci 23:1053
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