IGZO박막 증착 공정에서 플라즈마 방출광 모니터링 및 플라즈마 균일도 제어

최진우 ,  황상혁 ,  김우재 외 9명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

Deposition of IGZO thin film using DC and ICP at magnetron sputtering system

C. H. Lee ,  K. N. Kim ,  T. H. Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

RF 파워 변화에 따른 IGZO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성

진창현 ,  김홍배

전기전자재료학회논문지

2015 .01

기판온도에 따른 IGZO 박막의 구조적 및 전기적 특성

이민규 ,  이규만

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구

연제호 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

TiO₂ 완충층이 IGZO/TiO₂ 이중층 박막의 전기적, 광학적 성질에 미치는 영향

문현주 ,  김대일

열처리공학회지

2015 .01

Effects of Plasma Treatment on the Reliability of a-IGZO TFT

Dongxu Xin ,  Ziyang Cui ,  김태용 외 1명

전기전자재료학회논문지

2021 .01

Effect of a Cu Buffer Layer on the Structural, Optical, and Electrical Properties of IGZO/Cu bi-layered Films

문현주 ,  공태경 ,  김대일 외 2명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2016 .01

유한요소해석과 최적설계 기법을 활용한 증착용 산화물타겟 접합공정에서의 열변형 최소화 연구

차한영 ,  정찬엽

한국결정성장학회지

2020 .01

DC Magnetron Sputter Plasma 균일도 향상을 위한 자석배열 최적화

김재원 ,  장세환 ,  이관용 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .12

Investigation on Contact Resistance of Amorphous Indium Gallium Zinc Oxide Thin Film Transistors with Various Electrodes by Transmission Line Method

이상렬

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

증착 온도 및 수소 유량에 따른 IGZO 박막의 구조적 및 전기적 특성

박수진 ,  이규만

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

IGZO의 조성비율과 전구체 재료에 따른 전기적 특성 향상에 대한 연구

이수보 ,  이길주

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

디스플레이용 DC Magnetron Sputter에서 플라즈마 균일도 향상을 위한 기판전극 형상 설계

고동우 ,  김재원 ,  장세환 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .12

Improvement on the Stability of Amorphous Indium Gallium Zinc Oxide Thin Film Transistors Using Amorphous Oxide Multilayer Source/Drain Electrodes

Sang Yeol Lee

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2016 .01

Improvement on Plasma Intensity Uniformity in Rectangular DC Magnetron Sputter by Optimizing Structures of Substrate Electrode

Dong-Woo Ko ,  Se-Hwan Jang ,  Jae-Hyun Kim 외 2명

한국생산제조학회지

2023 .04

Analysis of phototransistors fabricated based on IGZO semiconducting films

Ge ,  gely Ta ,  soly 외 9명

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .11

IGZO 박막의 CO₂ 가스 반응에 대한 안정성

오 데레

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

Effects of Indium Composition Ratio on Electrical Stability of Top-gate Self-aligned Coplanar IGZO TFTs under Self-heating Stress Conditions

Yeong-Gil Kim ,  Chae-Eun Oh ,  Ye-Lim Han 외 8명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2024 .08

Approaches to Improve Mobility and Stability of IGZO TFTs: A Brief Review

Zhong Pan ,  Yifan Hu ,  Jingwen Chen 외 4명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2024 .08