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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김지환 (고려대학교 재료공학과) 박동희 (재료기술연구본부, 한국과학기술연구원) 김종빈 (고려대학교 재료공학과) 변동진 (고려대학교 재료공학과) 최원국 (재료기술연구본부, 한국과학기술연구원)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제17권 제10호
발행연도
2007.1
수록면
516 - 520 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

300 ㎜ 진공 웹코터를 이용한 ITO/PET 소재 제작 및 특성 연구
김지환 ,  변동진 ,  박동희 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료
진공 웹코터로 제작된 대면적 ITO/PET의 특성 연구
김지환 ,  박동희 ,  김종빈 외 2명 한국재료학회지 2007.01 학술저널

초록· 키워드

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Indium tin oxide, which is used as transparent conducting layer in flexible device, is deposited on PET film by a magnetron sputtering in 300 mm wide roll-to-roll process (vacuum web coating). Sheet resistance, specific resistance and transmittance is differed by sputtering parameters such as working pressures, oxygen partial pressure, and thickness of ITO layer. ITO layer is deposited about 90 nm at roll speed of 0.24 m/min and its sputtering power is 3 kW. From the XRD spectrum deposited ITO layer is verified as amorphous. Under working pressure varied from $3{\times}10^{-4}\;Torr$ to $2{\times}10^{-3}\;Torr$, sheet resistance is lowest at the working pressure of $1{\times}10^{-3}\;Torr$ and its value is from $110\;{\Omega}/{\square}$ to $260\;{\Omega}/{\square}$ at the thickness of 90 nm. Oxygen partial pressure also varies sheet resistance and is optimized at the regime from 0.2% ($1.8{\times}10^{-6}\;Torr$) to 0.6% ($6{\times}10^{-6}\;Torr$). In this oxygen partial pressure sheet resistance is lower than $150\;{\Omega}/{\square}$. As ITO layer thickness increases, sheet resistance decreases down to $21\;{\Omega}/{\square}$ and specific resistance is about $7.5{\times}10.4{\Omega}cm$ in 340 nm thickness ITO layer. Transmittance is measured at the wavelength of 550 nm and is about 90% for 180 nm thickness ITO/PET.
#Vacuum web coating #ITO/PET #Magnetron sputtering #Transmittance #Resisitivity

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