Mo under-layer의 두께에 따른 TFT 신호 배선 용 순수 Al 박막에서의 미세 구조 변화 및 hillock 형성에 미치는 영향

설재복 ,  김형석 ,  서주형 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

Polymide 박막상에 증착된 알루미늄 박막의 Hillock거동

강영석

한국재료학회지

1998 .01

LCD 대형기판에서의 pure-Al Hillock특성 및 억제 방법에 대한 연구

백금주 ,  이준신 ,  정창오 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .11

변형 에너지가 나노압입 유기 Hillock 현상에 미치는 영향

김현일 ,  윤성원 ,  강충길

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2005 .05

Ion Implantation 과 PECVD Oxide Capping 이 Al-1% Si 박막의 Hillock 생성에 미치는 영향 ( The Effects of Ion Implantation and PECVD Oxide Capping on the Hillock Growth in Al-1%Si Thin Film )

백종태 ,  박영준 ,  허성익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

이온 주입과 기판 온도 효과에 의한 Al-1%Si 박막의Hillock 형성 특성

최창억 ,  이용봉 ,  김정호

전기전자재료학회논문지

2014 .01

PE-CVD Oxide의 Hillock억제 효과에 대한 고찰 ( I ) ( The Investigation on Hillock Suppresion Effects of PE-CVD Oxide ( I ) )

박영준 ,  백종태 ,  허성익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

중간층 조건에 따른 Cr-Mo-N 막의 상형성 및 마찰마모 거동 연구

양영환 ,  여인웅 ,  박상진 외 2명

한국표면공학회지

2011 .12

스퍼터로 성장된 알루미늄 박막의 공정 변수와 박막 두께에 따른 물성

오일권 ,  윤창모 ,  장진욱 외 1명

한국재료학회지

2016 .01

MOS 구조의 특성

성영권 ,  여권 ,  이상훈

대한전기학회 학술대회 논문집

1986 .07

동작속도가 빠른 Mo2N/Mo 게이트 MOS 집적회로 ( High Speed Mo2N/Mo-Gate MOS Integrated Circuit )

김진섭 ,  이우일 ,  이대우 외 1명

전자공학회지

1985 .07

Copper 함량에 따른 Mo-Cu-N 박막의 미세구조 변화에 대한 연구

신정호 ,  최광수 ,  왕계민 외 1명

한국표면공학회지

2010 .12

D MOS , V MOS tr. 등 특수구조를 갖는 MOS소자의 설계

성만영

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Determination of the number of MoS₂ layers by using a scanning electron microscope

Rakesh S. Sha ,  bid ,  e 외 5명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .02

MOS Processing

이종덕

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

스퍼터링법에 의해 형성된 MoS2 박막의 막질 향상을 위한 황화공정 최적화

최영준 ,  김지민 ,  이종욱 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2017 .11

얇은 Si 산화막을 지닌 MOS 구조의 전기적 특성

성영권 ,  안상식 ,  백우현

대한전기학회 학술대회 논문집

1984 .07

원자층증착법으로 성장시킨 MoS₂ 박막을 다른 기판으로 이전하기

김진우 ,  김성준 ,  민요셉

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04